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TEAC称重传感器用于半导体/FPD制造工艺的产品介绍

发布时间:2023-09-22 点击量:239

TEAC称重传感器用于半导体/FPD制造工艺的产品介绍

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拉锭

多晶在石英坩埚中熔化,并在旋转籽晶棒的同时进行拉晶,
以形成单晶棒(使用 CZ 法拉晶锭)。

拉力机用称重传感器 TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
拉力机用称重传感器
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
  • 单晶生长称重传感器

  • 能够测量微小负载的两级式

  • 抗噪音及过载保护功能

拉力机 TT-XNS / TT-XNS(G) 称重传感器
拉力机
TT-XNS / TT-XNS(G)称重传感器
  • 单晶生长称重传感器

  • 过载保护

拉伸/压缩型称重传感器 TU-PGRH□□N/KN-G
拉伸/压缩型称重传感器
TU-PGRH□□N/KN-G
  • 用于拉制大直径硅片

  • 超高精度

拉伸/压缩型称重传感器 TU-PGRS□□N/KN-G
拉伸/压缩型称重传感器
TU-PGRS□□N/KN-G
  • 用于拉制大直径硅片

  • 高精准度

切割锭


晶圆是通过使用金刚石刀片将锭切割至定厚度而制成的。

负载测功机/称重传感器
负载测功机/称重传感器

数显指示器TD-700T
数显指示器
TD-700T
  • 标准型

  • 各种保持功能

  • CC-Link

数显指示器TD-9000T
符合 TEDS 标准的彩色图形
按压/压装数字指示器
TD-9000T
  • 多功能型

  • 支持 2 个输入:称重传感器 + 位移

  • 以太网/IP

称重传感器信号调节器TD-SC1
称重
传感器信号调节器
TD-SC1
  • 内置型

  • 丰富的网络
    (EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)

  • 通过PC设置/监控

晶圆抛光

研磨并抛光晶圆表面。

拉伸/压缩型称重传感器 TU-NR-C□□KN-G
拉伸/压缩型称重传感器
TU-NR-C□□KN-G
  • 薄型气密结构、紧凑、轻量、
    连接器式

拉伸/压缩型称重传感器 TU-GR ? KN-G
拉伸/压缩型称重传感器
TU-GR ? KN-G
  • 薄型、剪切型、中心孔型

  • 抗偏心/抗疲劳

数显指示器TD-700T
数显指示器
TD-700T
  • 标准型

  • 各种保持功能

  • CC-Link

数显指示器TD-9000T
符合 TEDS 标准的彩色图形
按压/压装数字指示器
TD-9000T
  • 多功能型

  • 支持 2 个输入:称重传感器 + 位移

  • 以太网/IP

晶圆平坦化 (CMP)

晶圆的表面经过研磨和抛光,以平整任何不平整的地方。

拉伸/压缩型称重传感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
拉伸/压缩型称重传感器
TC-NSRSP(T)□□N-G3
  • 采用耐弯曲的机器人电缆

  • 通过使用溅射仪
    实现高响应和高稳定性。

数显指示器TD-700T
数显指示器
TD-700T
  • 标准型

  • 各种保持功能

  • CC-Link

数显指示器TD-9000T
符合 TEDS 标准的彩色图形
按压/压装数字指示器
TD-9000T
  • 多功能型

  • 支持 2 个输入:称重传感器 + 位移

  • 以太网/IP

称重传感器信号调节器TD-SC1
称重
传感器信号调节器
TD-SC1
  • 内置型

  • 丰富的网络
    (EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)

  • 通过PC设置/监控